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Holoor 电介质激光掩膜
Holoor电介质激光掩膜是在玻璃基板上镀有一层很薄的图案反射涂层。涂层部分反射入射激光光束而通孔则传输激光光束的一部分。在近场输出将会非常接近通孔形状的图案。在远场衍射模式可能会出现。

Holoor电介质激光(激光投影/成像)掩膜——精密控制大功率激光的孔径

Dielectric (Projection / Imaging) Mask

Holoor电介质激光掩膜是在玻璃基板上镀有一层很薄的图案反射涂层。涂层部分反射入射激光光束而通孔则传输激光光束的一部分。在近场输出将会非常接近通孔形状的图案。在远场衍射模式可能会出现。下图为电介质激光掩膜的输出实例

 

特性

很小的传输孔径/通孔(~ 10um)

高损伤阈值

低吸收

高反射率在反射部分(> 99%)

高透射率(> 95%)在透明的部分(s)

激光传输低(< 0.5%),掩膜部分(@532nm)

很薄的掩膜层(~ 1um)

针对单波长设计

 

典型的参数

外直径(5 - 76 mm)

孔径形状(圆的、方的、其他)

孔径尺寸(10um – 60mm)

波长(193 nm - 11000 nm)

 

应用领域:

缩减传输区域,设置一个很小的传输区域

控制激光衍射图案的大小,不能管理强度剖面内的位置

 

Holoor电介质激光掩膜的型号

型号

直径(mm)

孔径尺寸(um)

形状

材料

DM-009

25.4

6200

圆形

熔融石英

DM-004

25.4

1750

正方形

熔融石英

DM-005

25.4

3500

正方形

熔融石英

DM-006

25.4

7000

正方形

熔融石英

DM-007

25.4

10838

圆形

熔融石英

DM-010

25.4

5680

圆形

熔融石英

DM-008

20

8428

圆形

熔融石英

DM-003

11

165

正方形

熔融石英

DM-011

11

4817

圆形

熔融石英

DM-012

11

3612

圆形

熔融石英

DM-013

11

2408

圆形

熔融石英

DM-014

11

4214.9

圆形

熔融石英

DM-015

11

3000

圆形

熔融石英

DM-016

11

5400

圆形

熔融石英

DM-002

11

65

正方形

熔融石英

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