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大角度线形光束整形器-衍射光学元件

作者:维尔克斯  时间:2021-3-19 14:36:23

大角度线形光束整形器应用:

例如,使用合适的聚焦光学元件和Holo/Or的大角度线形光束整形器(如PT-011),波长为355nm,在EFL=100mm处可以获得17.5mm×10um的均匀线光斑。

带有大角度线形光束整形器的基本光学装置包括像F-Theta透镜一样的场镜。一种更先进的光学装置是由一个变形系统组成的,它具有柱面透镜,在线光斑的每一轴都单独聚焦。

能受益于这种集成的线形光束整形器激光应用包括:退火、烧蚀、结晶、硬化、脱粘和清洗;在微电子和半导体、光伏和显示器等行业。

以色列Holo/Or提供多种衍射光学元件,包括分束器、光束整形器、匀化片/扩散片、多焦点、长焦深、光束采样器和螺旋相位片等。在世界各地都有客户将我们的产品用于医药、材料加工和测量解决方案。


大角度线形光束整形器特点:

-发散角>150 mRad

-线宽为衍射极限

-边缘锐利,超过衍射极限后的能量急剧下降

-剖面能量强度为平顶分布,整条线光斑都是均匀的

-波长:覆盖了DUVNIR

-材料:纯熔融石英,高损伤阈值涂层,适用于高功率的应用

作为衍射光学元件制造领域的世界领先者,Holo/Or公司非常荣幸地推出一种新的大角度线形光束整形器。


多年来,Holo/Or一直致力于工业高功率激光衍射光学元件的解决方案,能根据客户应用来开发定制衍射光学元件。最近,许多客户向holoor寻求一种大角度的线形光束整形器,以便在激光退火和剥离应用中实现大面积的高产量加工。

在处理大面积区域时,使用线形均匀光束比分步重复的方法具有明显的产量优势。我们把Holo / Or的大角度线形光束整形器集成在单模激光系统中,通过将光束整形成一条窄的、接近衍射极限的线光斑,在大面积上实现高峰值光强。


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