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ArisMD隔振台应用于电子显微镜

作者:维尔克斯  时间:2023-8-15 10:05:57


K&S ArisMD主动振动隔离系统与竞争对手基于压电元件的比较:

特点

空气基础隔振系统

压电式隔振系统

K&S ArisMD

评论总结

负载能力

使用适当尺寸的隔离器,实际上是无限的负载

每个隔离器最高可达2000公斤

每个系统不超过4个隔离器,总重量不超过8000公斤

每个模块高达1000公斤

由于每个系统的模块数量不受限制,实际上是无限的负载

根据所需负载和尺寸计算的模块数量

结构

集中控制:中央控制器、

每个系统最多有4个隔离器以星形配置连接

集中控制:中央控制器

每个系统最多连接4台隔离器,采用星形配置

分布式控制:独立的模块

每个系统的模块数量不限

灵活配置:

-节约成本

-增加系统的可靠性

性能

从2赫兹起振动减少2倍,在地板振动小于45微米有效值时

(所有频率的组合)

20赫兹以上的良好隔离效果

从2赫兹及以上的振动减少10倍、地面振动小于9μm RMS时
(所有频率的组合)

从2赫兹及以上的振动减少10倍、在地板振动小于45μm RMS时

(所有频率的组合)

ArisMD

-无空气(避免所有空气有关的问题)

-可安装在框架上

-适当的阻尼

-体积明显缩小

电机的行程,用于补偿地板位移

空气地板控制的执行器或线性马达的行程几乎是无限的200 μm (p-p)

压电式执行器

行程限制为<12 μm (p-p),低于10 Hz

直线电机的

行程几乎没有限制

200 μm (p-p)

基于空气的系统有所有与高空气流量有关的问题。需要重型线性马达来控制位置。压电系统在高地板位移输入时将有零的隔离(在真实的FAB地板上随机/定期发生)。

尺寸和安装

隔离器的尺寸与所需负载成正比。高度通常>300毫米

只能安装在平台的顶部

每个隔离器是

300 x 320 x 275 mm

只能安装在平台的顶部下面

每个模块是

270 x 230 x 75 mm

可以放置在平台的顶部和底部

高度是非常重要的

影响工具的CoG高度(对倾斜和滚动更敏感)。

-工具或房间天花板的高度可能是一个限制

-在操作和维护方面增加了人体工程学的困难

作为第二级隔离系统使用

不能与内部隔离系统一起严重使用

需要额外的重型平台来支撑工具

需要将工具提升到离地面约0.5米的高度,以放置4个隔离器和平台

不需要平台

模块的设计适合于地板和工具的框架之间,由于工具本身的调平脚,所以存在空间。

不需要提升!

ArisMD

-节约成本

-极大地减少了安装的复杂性

-不增加高度


电子显微镜Electronic Microscopes简称电镜,用高能电子束以非常精细的尺度研究物体,已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。为确保电子显微镜超高质量成像,实现电子显微镜隔振,电子显微镜防震台是必不可少的。传统的隔振方法主要是建造专门的隔离地板,用特殊的混凝土块改变地基,用混凝土块进行被动减震。这种方法的缺点相当明显,不可能改变工具的位置、机器停机时间长、没有灵活性、没有可配置性、价格昂贵。


K&S ArisMD减震台相比于传统的隔振方法,具有设计精致、位置灵活、安装简单且成本低、性能高、可根据环境条件进行调整的特点。

K&S主动隔振台在电子显微镜隔振的实例——蔡司电子显微镜


K&S隔振台应用实例除了蔡司电子显微镜外,还有Tescan SEMJEOL SEMHitachi SEM

K&S主动隔振台的主要特点:

1.优势突出

-6个自由度

-有源增益从0.5Hz开始

-解耦架构(正在申请专利)

-可变阻尼(正在申请专利)

-内置人工智能功能

2.体积小,设计优雅,重量轻。

3.没有使用压电元件

K&S防震台系统使用的传感器和电机的使用寿命实际上是无限的,显著降低使用寿命成本

4.安装方便——无需吊装工具和重型结构。


5.能力

-执行机构行程更高

-可通过软件活动带宽进行调整

-远程控制

6.内置实时诊断工具

-频谱分析仪

-示波器

7.高度可调谐的隔振控制-系统可以配置为适应具有挑战性的环境条件

8.由于内部架构灵活,可定制



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