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各种激光反射镜的定制参数介绍_Rainbow Research Optics

作者:维尔克斯  时间:2024-6-12 9:37:19

Rainbow Research Optics提供193nm到14um的波长范围的各类光学产品的定制,包括各种紫外到红外光学元件,如透镜、反射镜、窗片、棱镜、波片,分光镜和滤光片等。下面表格说明了基础的参数和标准,可以帮助用户选出合适的反射镜定制方案。



1、高能量准分子激光反射镜High Energy Excimer Laser Mirrors

193nm,248nm准分子激光反射镜Excimer Laser Mirrors, ArF(193nm) / KrF(248nm)基础参数:

基底材质:BK7

S1表面

λ/10@633nm

清晰孔径

>85% of diameter

S1表面质量

10-5 laser quality

倒角

0.3mm at 45 typical

S2表面质量

商业表面处理

损伤阈值

1 j /cm2 10ns pulse

直径公差

+0.0/-0.20mm

附着阈值

Per MIL-C-675A

厚度公差

±0.25mm

最小反射率

ArF ≥ 97.0% KrF ≥ 99.0%

*除了193nm,248nm准分子激光反射镜,还有XeCl(308nm) / XeF(351-353nm)/ He-Ne反射镜可选。


2、氩离子激光反射镜Argon-Ion Laser Mirrors

氩离子反射镜有一层特殊的涂层,可在与氩离子激光器发射波长一致的波长范围内提供高反射率。这种涂层具有较高的损伤阈值,适合与大框架高功率CW(连续)氩离子激光器的输出光束一起使用。

基础参数:

基底材质:UV fused silica, CaF2 or BK7

S1表面

λ/10@633nm

清晰孔径

>85% of diameter

S1表面质量

10-5 laser quality

倒角

0.3mm at 45 typical

S2表面质量

商业表面处理

楔形Wedge

<3 are min

直径公差

+0.0/-0.20mm

厚度公差

±0.25mm


3、Nd:YAG/Nd:YLF激光反射镜:

基础参数:

基底材质:BK7

S1表面

λ/10@633nm

清晰孔径

>85% of diameter

S1表面质量

10-5 laser quality

倒角

0.3mm at 45 typical

S2表面质量

商业表面处理

损伤阈值

10j /cm2, 10ns pulse

直径公差

+0.0/-0.20mm

楔形Wedge

<3 are min

厚度公差

±0.25mm

附着力和耐久性

Per MIL-C-675A

其中,Nd:YAG/YLF双反射激光反射镜的半径公差±0.5%


4、0-45°可见光激光反射镜(488-694nm):

基础参数:

基底材质:UV fused silica, CaF2 or BK7

S1表面

λ/10@633nm

清晰孔径

>85% of diameter

S1表面质量

10-5

倒角

0.3mm at 45 typical

S2表面质量

商业表面处理

附着力和耐久性

Per MIL-C-675A

直径公差

+0.0/-0.20mm

厚度公差

±0.25mm

还有0-45°半导体激光反射镜可选。


5、镀铝、镀银和镀金激光反射镜:

镀铝、镀银和镀金反射镜的基础参数

基底材质

紫外熔融石英或BK7

厚度公差

±0.25mm

S1表面

λ/10@633nm

楔形Wedge

<3 are min

S1表面质量

10-5 laser quality

清晰孔径

>85% of diameter

S2表面质量

商业表面处理

倒角

0.3mm at 45 typical

直径公差

+0.0/-0.20mm

附着力和耐久性

Per MIL-C-675A


6、其他激光反射镜Miscellaneous Laser Mirrors

氮气激光镜

基底材质

UV熔融石英或BK7

楔形Wedge

<3 are min

S1表面

λ/10@633nm

清晰孔径

>85% of diameter

S1表面质量

10-5 laser quality

倒角

0.3mm at 45 typical

直径公差

+0.0/-0.20mm

损伤阈值

1j/cm2 10nsec Pulse

厚度公差

±0.25mm

附着力和耐久性

Per MIL-C-675A

另外,还有氦-(He-Cd)激光反射镜,铜蒸气(Copper Vapoor)反射镜,氦氖(He-Ne)反射镜(632.8nm), 红宝石(Ruby)反射镜(694.3nm),翠绿宝石(Alexandrite)反射镜(720-780nm),二极管(Diode)反射镜,Forsterite (1235nm)/Lodine (1315nm)反射镜 ,Er:Glass反射镜,TM:YAG(2010nm)/Ho:YAG(2100nm)反射镜和Er:YAG激光反射镜(2940nm)等可定制生产,更多详情,请联系我们。


7、部分反射镜Partially Reflecting Laser Mirrors:

部分反射镜的材质主要是紫外线熔融石英、CaF2或BK7,其波长范围193nm-3000nm左右,另外,除了标准的尺寸参数,还可根据用户的需求定制更多的激光反射镜。

基础参数表:

基底材质:紫外线熔融石英、CaF2或BK7

S1表面

λ/10@633nm

楔形

<3 are min

S1表面质量

10-5 laser quality

清晰孔径

>85% of diameter

S2 表面质量

商业表面处理

倒角

0.3mm at 45 typical

直径公差

+0.0/-0.20mm

损伤阈值

1 j /cm2 10ns pulse

厚度公差

±0.25mm

附着阈值

Per MIL-C-675A


尺寸波长参数参考表:

尺寸

标准波长(nm)

参考数据(%)

编码

直径

厚度

nm

nm

%

0512

0.500″

0.125″

193

694

10±2

0525

0.500″

0.250″

213

755

20±3

0537

0.500″

0.375″

244-257

780

25±3

0712

0.750″

0.125″

248

800

30±3

0725

0.750″

0.250″

266

830

35±3

0737

0.750″

0.375″

308

850

40±3

1012

1.000″

0.125″

337

940

50±5

1025

1.000″

0.250″

355

1053

60±4

1037

1.000″

0.375″

364

1047,1053

70±4

1525

1.500″

0.250″

488-529

1064

75±4

1537

1.500″

0.375″

488-515

1235

80±4

2025

2.000″

0.250″

527

1319

85±4

2037

2.000″

0.375″

532

1550

90±3

3037

3.000″

0.375″

589

2010

95±2

3050

3.000″

0.500″

633

2100

95±1

4050

4.000

0.500″

670

2940

99±0.5

*以上是参考数据,更多详细参数可根据用户的需求进行评估和定制。


8、高能量激光反射镜High Energy Laser Mirrors:

这些高能量激光反射镜覆盖了ArF(λ= 193nm)和XeF(λ=352nm)的激光线。另外,外腔高能准分子反射镜被设计成能承受高脉冲功率,每个光学元件的表面平整度优于λ/10,表面光洁度为10-5划痕深度。

特点:ArF和XeF准分子激光线镜,高伤害阈值

基础参数:

基底材质:UV CaF2 or VUV MgF2

S1表面

λ/10@633nm

清晰孔径

>85% of diameter

表面质量

10-5 laser quality

倒角

0.3mm at 45 typical

直径公差

+0.0/-0.20mm

损伤阈值

1 j /cm2 10ns pulse

厚度公差

±0.25mm

附着阈值

Per MIL-C-675A

楔形

<3 are min.

最小反射率

R>97%@633nm, R>99.5%@248nm~353nm



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