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PIZEOCONCEPT Nano-positioning System BIO系列,BIO2,BIO3二、三轴压电柔性铰链平台

作者:维尔克斯  时间:2025-4-19 11:43:34

法国PIZEOCONCEPT设计的BIO系列纳米定位器,专用于集成在倒置显微镜中,属于超薄型纳米压电平台系列。该系列允许用户将显微镜载玻片置于其矩形通孔内,其特点在于相对低矮的设计,最低高度仅为15.6mm。BIO系列这种超精密压电平台不仅易于与倒置显微镜集成,还能与粗定位台配合使用。

BIO系列纳米定位器介绍

法国PIZEOCONCEPT超精密压电平台BIO系列一共有2轴向和3轴向可以选择。设备的控制可以根据客户的要求选择模拟信号和添加USB接口进行数据控制,整体的价格优势高。法国PIZEOCONCEPT纳米压电平台(Nano-positioning SystemBIO系列行程有100um200um300um可选,该型号压电柔性铰链平台能满足大多数倒置显微镜的纳米移动要求,并且PIZEOCONCEPT的各系列压电柔性铰链平台在各类精密位移的应用中都具有不俗的适应性。

Nano-positioning System BIO3系列参数

法国PIZEOCONCEPT压电定位平台BIO系列中的3轴类型和2轴的适应性基本相同,可与法国PIZEOCONCEPT原厂的粗定位 Microstage 结合使用。与BIO2相同BIO3的100μm 版本为了更高的热稳定性,同样采用了因瓦合金材质进行制作。

型号

BIO3.100

BIO3.200

BIO3.300

行程(um)

100×100×100

200×200×200

300×300×300

分辨率(nm)

0.1

0.2

0.3

XY谐振频率(Hz)

500/400/400

400/350/300

300/250/250

传感器类型

Silicon HR Sensor

水平最大负载(kg)

0.5

垂直最大负载(kg)

0.5

Nano-positioning System纳米压电平台 BIO2系列参数

本段整理了法国PIZEOCONCEPT超精密压电平台BIO系列中的2轴类型的基本参数,方便客户查阅。

压电柔性铰链平台型号

BIO2.100

BIO2.200

BIO2.300

行程(um

100

200

300

分辨率(nm

0.1

0.2

0.3

噪声基底(典型值nm

0.01

0.02

0.03

XY谐振频率(Hz

500/400

400/350

300/250

传感器类型

Silicon HR Sensor

水平最大负载(kg

1

垂直最大负载(kg

0.5

标准 BIO2 压电定位平台主体由铝制成。但是BIO2.100100μm 版本)为了实现布鲁克原子力显微镜所需的更高热稳定性,因此采用了因瓦合金材质。如果客户对于热稳定性的要求更高的话,BIO2.100是一个更好的选择。


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