作者：维尔克斯 时间：2025-7-2 11:38:14
西格玛光机生产的HMPQP/HMPZP系列光学样板，选用了合成石英或低膨胀玻璃（微晶玻璃/CLEARCERAM®-Z）作为材料。这些材料在温度变化时形变极小，保证了样板的高稳定性。经过高精度抛光处理后，这些样板既可以用作干涉仪样板，也可以作为普通光学样板使用。每块样板都附带了通过干涉仪测量得出的面型精度检验数据，确保了其高品质和可靠性。干涉仪光学样板平行度＜3′，表面质量20-10级，反面抛光，有效直径达外径95%（波面精度λ/40时为90%）。大型样板采用热膨胀系数低于合成石英的材料，侧面箭头标识高面型精度抛光面，未镀膜，如需镀膜可联系营业部门，交货时配备保管箱。
Sigmakoki干涉仪样板HMPQP/HMPZP技术参数表：
|
标准 |
||||
|
型号 |
外径 φD〔mm〕 |
厚度 t〔mm〕 |
材质 |
反射波面精度PV |
|
HMPQP-30C10-6 |
φ30 |
10 |
合成石英 |
λ/6 |
|
HMPQP-30C10-12 |
φ30 |
10 |
合成石英 |
λ/12 |
|
HMPQP-30C10-20 |
φ30 |
10 |
合成石英 |
λ/20 |
|
HMPQP-40C10-6 |
φ40 |
10 |
合成石英 |
λ/6 |
|
HMPQP-40C10-12 |
φ40 |
10 |
合成石英 |
λ/12 |
|
HMPQP-40C10-20 |
φ40 |
10 |
合成石英 |
λ/20 |
|
HMPQP-50C10-6 |
φ50 |
10 |
合成石英 |
λ/6 |
|
HMPQP-50C10-12 |
φ50 |
10 |
合成石英 |
λ/12 |
|
HMPQP-50C10-20 |
φ50 |
10 |
合成石英 |
λ/20 |
|
HMPQP-60C12-6 |
φ60 |
12 |
合成石英 |
λ/6 |
|
HMPQP-60C12-12 |
φ60 |
12 |
合成石英 |
λ/12 |
|
HMPQP-60C12-20 |
φ60 |
12 |
合成石英 |
λ/20 |
|
HMPQP-80C15-6 |
φ80 |
15 |
合成石英 |
λ/6 |
|
HMPQP-80C15-12 |
φ80 |
15 |
合成石英 |
λ/12 |
|
HMPQP-80C15-20 |
φ80 |
15 |
合成石英 |
λ/20 |
|
HMPQP-100C20-6 |
φ100 |
20 |
合成石英 |
λ/6 |
|
HMPQP-100C20-12 |
φ100 |
20 |
合成石英 |
λ/12 |
|
HMPQP-100C20-20 |
φ100 |
20 |
合成石英 |
λ/20 |
|
HMPZP-100C17-6 |
φ100 |
17 |
低膨胀玻璃 |
λ/6 |
|
HMPZP-100C17-12 |
φ100 |
17 |
低膨胀玻璃 |
λ/12 |
|
HMPZP-100C17-20 |
φ100 |
17 |
低膨胀玻璃 |
λ/20 |
|
HMPQP-130C25-6 |
φ130 |
25 |
合成石英 |
λ/6 |
|
HMPQP-130C25-12 |
φ130 |
25 |
合成石英 |
λ/12 |
|
HMPQP-130C25-20 |
φ130 |
25 |
合成石英 |
λ/20 |
|
HMPZP-130C20-6 |
φ130 |
20 |
低膨胀玻璃 |
λ/6 |
|
HMPZP-130C20-12 |
φ130 |
20 |
低膨胀玻璃 |
λ/12 |
|
HMPZP-130C20-20 |
φ130 |
20 |
低膨胀玻璃 |
λ/20 |
|
HMPQP-150C30-6 |
φ150 |
30 |
合成石英 |
λ/6 |
|
HMPQP-150C30-12 |
φ150 |
30 |
合成石英 |
λ/12 |
|
HMPQP-150C30-20 |
φ150 |
30 |
合成石英 |
λ/20 |
|
HMPZP-150C25-6 |
φ150 |
25 |
低膨胀玻璃 |
λ/6 |
|
HMPZP-150C25-12 |
φ150 |
25 |
低膨胀玻璃 |
λ/12 |
|
HMPZP-150C25-20 |
φ150 |
25 |
低膨胀玻璃 |
λ/20 |
|
高精度 |
||||
|
型号 |
外径 φD〔mm〕 |
厚度 t〔mm〕 |
材质 |
反射波面精度PVr |
|
HMPQP-30C10-40 |
φ30 |
10 |
合成石英 |
λ/40 |
|
HMPQP-40C10-40 |
φ40 |
10 |
合成石英 |
λ/40 |
|
HMPQP-50C10-40 |
φ50 |
10 |
合成石英 |
λ/40 |
|
HMPQP-60C12-40 |
φ60 |
12 |
合成石英 |
λ/40 |
|
HMPQP-80C15-40 |
φ80 |
15 |
合成石英 |
λ/40 |
|
HMPQP-100C20-40 |
φ100 |
20 |
合成石英 |
λ/40 |
|
HMPQP-130C25-40 |
φ130 |
25 |
合成石英 |
λ/40 |
|
HMPQP-150C30-40 |
φ150 |
30 |
合成石英 |
λ/40 |
|
HMPZP-150C25-40 |
φ150 |
25 |
低膨胀玻璃 |
λ/40 |
干涉仪光学样板是使用形状随温度变化极小的材料，经过高精度抛光后的基板。可以作为干涉仪的样板的或光学样板使用。Optosigma光学样板附有使用干涉仪测量的面型精度检验数据。从丰富细化的尺寸或各种面型精度的系列产品中，选择符合您的技术要求的产品。大型的高面型精度的光学样板，使用的是比合成石英热膨胀系数还低的材料。侧面箭头符号指向的一面为高面型精度的抛光面。光学样板将被放入保管箱中交货。
Sigmakoki光学样板HMPQP/HMPZP共同指标表：
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共同指标 |
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|
材质 |
合成石英 低膨胀玻璃（微晶玻璃®或CLEARCERAM®-Z） |
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平行度 |
＜3′ |
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表面质量 |
20－10 |
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反面 |
抛光面 |
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有效直径 |
外径的95％ 波面精度λ/40：外径的90％以内 |
西格玛光机干涉仪样板HMPQP/HMPZP使用注意事项
-干涉仪光学样板作为光学样品使用时，由于样品与样板接触，样品可能会有损伤。如果不能使样品产生损伤时，请使用激光干涉仪等进行检查。
-Optosigma干涉仪样板的条纹圈数约为由干涉仪得到的PV值解析结果的2倍。
- Sigmakoki光学样板为了保持面型精度而没有镀膜。需要镀膜时请联系营业部门。
-光学样板有裂缝，边缘有缺口时，面型精度有可能会变差。存在裂缝或缺口时请更换新的样板。
Optosigma干涉仪样板产品应用信息
-微晶玻璃®是SCHOTT AG公司的注册商标。
-CLEARCERAM®是株式会社小原的注册商标。
-另外备有可以防止反面反射影响的楔形基板（WSB/WSSQ/WSSQK）。
-牛顿环是指，将光学样板和样品贴紧时产生的彩虹色条纹，从这种条纹的形状和圈数可以推测样品的面型精度。
-所谓反射波面精度PVr是指，把干涉仪测得的图像数据，以空间频率成分划分，低频部分用P-V，中间频率成分用RMS表述面精度的评估手法。
西格玛光机干涉仪样板外形图：
牛顿环
