这种用于紫外激光的聚焦透镜,是由能在紫外光谱区高效透光的合成石英材料制成的,具体是准分子激光空气隙透镜。它之所以具有良好的抗光损伤能力,是因为在制造过程中完全避免了使用会吸收紫外线的玻璃或粘合剂。其248nm波段的型号通常由两片或三片球面透镜组合而成,并已校正了球面像差和慧形像差。
所属品牌: 日本OptoSigma
负责人:郭工
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准分子激光聚焦镜ETL/EDL/NEDL,248nm,焦距40-300mm
这种用于紫外激光的聚焦透镜,是由能在紫外光谱区高效透光的合成石英材料制成的,具体是准分子激光空气隙透镜。它之所以具有良好的抗光损伤能力,是因为在制造过程中完全避免了使用会吸收紫外线的玻璃或粘合剂。其248nm波段的型号通常由两片或三片球面透镜组合而成,并已校正了球面像差和慧形像差。248聚焦镜也可以作为Kr*F准分子激光(248nm),YAG激光的4次谐波(266nm),3次谐波(355nm)的聚光透镜使用。NA0.1以下的透镜,对准直激光成像后的焦点光斑直径几乎接近衍射极限。(ETL为0.25以下)
Optosigma准分子激光聚焦镜ETL/EDL/NEDL功能说明图
Optosigma准分子激光透镜ETL/EDL/NEDL使用注意事项
- Optosigma准分子激光透镜令无限远物体成像于焦点位置,或将点光源转化为平行光。如果要对近距离的物体进行成像,透镜的光学性能将不能得到充分发挥。
-入射光要从指定方向进入聚光透镜,一定要使平行光从上面(SIGMA KOKI为正立文字)入射到透镜中。如果入射光从反方向射入透镜,将导致球差恶化,焦点光斑变大,成像模糊。
-准分子激光透镜在设计波长之外的条件下使用时,导致球差恶化,透过率降低。
-248聚焦镜在使用大功率激光器,或在热源附近使用时,可能导致聚光透镜温度升高,焦距变化。如果长时间使用时一定要有良好的散热措施。
-准分子激光空气隙透镜不是消色透镜,没有校正色差。
-248nm透镜的表面反射(4%)将造成约有20%的透过损失。
西格玛光机准分子激光空气隙透镜ETL/EDL/NEDL使用信息
-承接制造产品目录之外的高能量脉冲激光或指定波长的产品。
-按照客户技术指标,可以进行数百个量级的批量生产。
-为了保护眼睛避免激光加工溅出的粉末的损伤,可以配置另外销售的保护眼镜。
-关于各波长的焦距,请参考西格玛光机网页的[焦距随波长变化表]
西格玛光机准分子激光透镜ETL/EDL/NEDL型号汇总列表
型号 |
焦距f〔mm〕 |
长度L〔mm〕 |
NA |
工作距离WD〔mm〕 |
ETL-30-40P |
39.6 |
22 |
0.34 |
31.1 |
ETL-30-50P |
49.8 |
22 |
0.27 |
41.6 |
ETL-30-60P |
59.7 |
22 |
0.23 |
52.4 |
ETL-30-80P |
79.8 |
22 |
0.17 |
73.2 |
NEDL-30-100P |
99.9 |
12 |
0.14 |
94.6 |
NEDL-30-150P |
149.3 |
12 |
0.09 |
144.6 |
NEDL-30-200P |
199.3 |
12 |
0.07 |
194.7 |
EDL-50-100P |
100.4 |
20 |
0.24 |
87.1 |
EDL-50-150P |
149.6 |
20 |
0.16 |
137.9 |
EDL-50-200P |
199.1 |
20 |
0.12 |
187.8 |
EDL-50-250P |
249.0 |
20 |
0.09 |
238.0 |
EDL-50-300P |
298.6 |
20 |
0.08 |
288.0 |
Optosigma ETL/EDL/NEDL准分子激光聚焦镜技术指标
共同指标 |
|
材质 |
准分子激光用合成石英(空气隙) |
镜筒材质 |
铝合金 表面处理:阳板氧化发黑 |
设计波长 |
248nm |
镀膜 |
无 |
入射角公差 |
±1° |
西格玛光机准分子激光聚焦镜ETL/EDL/NEDL外形图