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准分子激光聚焦镜

这种用于紫外激光的聚焦透镜,是由能在紫外光谱区高效透光的合成石英材料制成的,具体是准分子激光空气隙透镜。它之所以具有良好的抗光损伤能力,是因为在制造过程中完全避免了使用会吸收紫外线的玻璃或粘合剂。其248nm波段的型号通常由两片或三片球面透镜组合而成,并已校正了球面像差和慧形像差。

所属品牌: 日本OptoSigma

负责人:郭工
联系电话:13434776712   电子邮箱:syguo@welloptics.cn

产品介绍

准分子激光聚焦镜ETL/EDL/NEDL,248nm,焦距40-300mm


这种用于紫外激光的聚焦透镜,是由能在紫外光谱区高效透光的合成石英材料制成的,具体是准分子激光空气隙透镜。它之所以具有良好的抗光损伤能力,是因为在制造过程中完全避免了使用会吸收紫外线的玻璃或粘合剂。其248nm波段的型号通常由两片或三片球面透镜组合而成,并已校正了球面像差和慧形像差。248聚焦镜也可以作为Kr*F准分子激光(248nm),YAG激光的4次谐波(266nm),3次谐波(355nm)的聚光透镜使用。NA0.1以下的透镜,对准直激光成像后的焦点光斑直径几乎接近衍射极限。(ETL0.25以下)


Optosigma准分子激光聚焦镜ETL/EDL/NEDL功能说明图

Optosigma准分子激光透镜ETL/EDL/NEDL使用注意事项

- Optosigma准分子激光透镜令无限远物体成像于焦点位置,或将点光源转化为平行光。如果要对近距离的物体进行成像,透镜的光学性能将不能得到充分发挥。

-入射光要从指定方向进入聚光透镜,一定要使平行光从上面(SIGMA KOKI为正立文字)入射到透镜中。如果入射光从反方向射入透镜,将导致球差恶化,焦点光斑变大,成像模糊。

-准分子激光透镜在设计波长之外的条件下使用时,导致球差恶化,透过率降低。

-248聚焦镜在使用大功率激光器,或在热源附近使用时,可能导致聚光透镜温度升高,焦距变化。如果长时间使用时一定要有良好的散热措施。

-准分子激光空气隙透镜不是消色透镜,没有校正色差。

-248nm透镜的表面反射(4%)将造成约有20%的透过损失。


西格玛光机准分子激光空气隙透镜ETL/EDL/NEDL使用信息

-承接制造产品目录之外的高能量脉冲激光或指定波长的产品。

-按照客户技术指标,可以进行数百个量级的批量生产。

-为了保护眼睛避免激光加工溅出的粉末的损伤,可以配置另外销售的保护眼镜。  

-关于各波长的焦距,请参考西格玛光机网页的[焦距随波长变化表]


西格玛光机准分子激光透镜ETL/EDL/NEDL型号汇总列表

型号

焦距fmm

长度Lmm

NA

工作距离WDmm

ETL-30-40P

39.6

22

0.34

31.1

ETL-30-50P

49.8

22

0.27

41.6

ETL-30-60P

59.7

22

0.23

52.4

ETL-30-80P

79.8

22

0.17

73.2

NEDL-30-100P

99.9

12

0.14

94.6

NEDL-30-150P

149.3

12

0.09

144.6

NEDL-30-200P

199.3

12

0.07

194.7

EDL-50-100P

100.4

20

0.24

87.1

EDL-50-150P

149.6

20

0.16

137.9

EDL-50-200P

199.1

20

0.12

187.8

EDL-50-250P

249.0

20

0.09

238.0

EDL-50-300P

298.6

20

0.08

288.0


Optosigma ETL/EDL/NEDL准分子激光聚焦镜技术指标

共同指标

材质

准分子激光用合成石英(空气隙)

镜筒材质

铝合金 表面处理:阳板氧化发黑

设计波长

248nm

镀膜

入射角公差

±1°

西格玛光机准分子激光聚焦镜ETL/EDL/NEDL外形图






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