LEJ公司研发的深紫外照明系统，是一款针对晶圆检测及光掩模分析任务而精心打造的高稳定性紫外光源。该系统选用100W汞氙灯作为核心发光元件，并将点火装置与镇流器整合在一起。借助低热漂移技术和稳定的直流供电，它能输出极为稳定的紫外光辐射。
所属品牌： LEJ
负责人：郭工
联系电话：13434776712 电子邮箱：syguo@welloptics.cn
无热漂移现象，光路重复精度优于0.1μm，LEJ 100W汞氙灯光源
LEJ的深紫外照明系统是为晶圆检测和光掩模分析量身打造的高稳定性紫外光源。它使用100W汞氙灯，并内置了点火和镇流装置，依靠低热漂移技术和稳压直流电源，确保了紫外辐射的高度稳定。集成化设计：LEJ深紫外汞氙灯光源的点火器直接集成在灯箱lh-qx-100.60内部，相比外置点火器具有更高的可靠性和更简洁的系统结构。精确触发时序：与镇流器ebqx 100-04配合，确保在最佳时机施加点火电压，延长LEJ 光纤耦合紫外UV光源使用寿命。多重保护机制：包含过压保护、短路保护等功能。
深紫外照明系统：
LEJ深紫外照明系统（Deep UV illumination system）：这是整套设备的核心名称，采用特殊设计的光学系统，能够在深紫外波段提供稳定均匀的照明。LEJ深紫外照明系统特别适合微纳结构检测，其稳定性在同类产品中处于领先地位。深紫外照明系统的光谱特性如图所示。
图：无聚光元件的汞氙灯光谱
图：深紫外照明系统的紫外光谱
灯箱lh-qx-100.60（Lamp house lh-qx-100.60）：这是系统的核心组件之一，集成了光源和反射镜系统。灯箱lh-qx-100.60采用紧凑设计，尺寸仅为169x126x154mm，重量3.4kg。灯箱lh-qx-100.60具有可调节的灯座和反射镜，确保光路精确对准。灯箱lh-qx-100.60的安全性能符合EN 61010-1标准。
镇流器ebqx 100-04（Ballast ebqx 100-04）：这是为100W汞氙灯专门设计的电源控制单元。镇流器ebqx 100-04采用恒流工作模式，最大输出功率130W。镇流器ebqx 100-04具有完善的安全保护功能，包括过温保护等。镇流器ebqx 100-04的输入电压范围宽达90-264VAC，适应全球各地电网。
汞氙灯（HgXe lamps）：这是系统的光源核心，型号为HAMAMATSU L8029-01或L2422-01。汞氙灯在深紫外波段具有独特的发射特性，特别适合微细结构检测。汞氙灯的点火电压为16.5-20VDC，工作电流5.5±0.3A。汞氙灯通过专用灯座连接，确保稳定可靠的电气接触。
环形燕尾槽/法兰（Ring dovetail/Flange）：这是系统的机械接口部件，用于将灯箱安装到各种应用设备上。环形燕尾槽/法兰可根据客户需求定制，确保与不同设备的兼容性。环形燕尾槽/法兰的安装方式灵活，支持多种调整需求。环形燕尾槽/法兰是系统集成的重要组件。
产品特点
-无热漂移现象
-可重复的机械调节
-灯箱内集成点火装置
-紧凑型灯箱设计
-安全电路功能
-运行时间计数器
技术参数表
灯箱 lh-qx-100.60:
安装方式
通过法兰或环形燕尾槽安装
灯座带x,y方向调节功能
点火器
集成高压点火器
反射镜
带x,y,z三轴调节的反射镜
收集器
带z轴调节
安全性
符合EN 61010-1标准
设备保护等级
I
防护等级
IP
20(EN 60529)
安全电路
开盖即断电
环境温度
0°C至+40°C
尺寸(HxWxD)
169x126x154mm
重量
3.4
kg
镇流器 ebqx 100-04:
功能
100W汞氙灯专用
适用灯型
HAMAMATSU
L8029-01,L2422-01
灯连接器
M16+PE插座, Schaltbau
安全性
安全电路, 过温保护
输入参数
输入参数
电源电压
90至264 VAC
电源频率
47至63 Hz
功耗
170
VA
输出参数
输出参数
工作模式
恒流
功率
最大130W
输出电流
5.5±0.3A
开路电压
60±5VDC
点火电压
16.5至20 VDC
触发电压
外部点火器
尺寸(WxHxD)
167x85x222mm
重量
2.0kg
订购信息
产品
货号
灯箱 lh-qx 100.60 ①
0000013780
镇流器 ebqx 100-04 ②
0000008708
环形燕尾槽/法兰 ③
根据客户/应用需求定制
收集器适配器 ④
根据客户/应用需求定制
灯 HAMAMATSU L8029/L2422
0000013812/0000018455
深紫外照明系统在半导体工业中具有不可替代的作用，特别是在先进制程节点的检测环节。该系统的主要优势在于其出色的稳定性，这得益于精心设计的散热系统和电源管理。汞氙灯作为光源，在200-400nm波段具有多个特征发射峰，非常适合用于检测亚微米级别的缺陷。
灯箱lh-qx-100.60的机械调节机构允许用户精确控制光路，确保照明均匀性和重复性。镇流器ebqx 100-04不仅提供稳定的电流输出，还具备全面的保护功能，延长了汞氙灯的使用寿命。
环形燕尾槽/法兰接口设计使得该系统可以方便地集成到各种检测设备中，满足不同客户的特殊需求。整套LEJ深紫外照明系统结构紧凑，安装方便，是微电子制造和质量控制领域的理想选择。
LEJ深紫外照明系统是专为高精度光学检测设计的先进光源解决方案，其核心采用汞氙灯（HgXe lamps）技术，结合LEJ公司专利的稳定化设计，为显微镜光源和晶圆检测提供卓越的紫外辐射性能。该系统由灯箱lh-qx-100.60、镇流器ebqx 100-04和汞氙灯组成，通过LUXYR光学平台实现精准的光路控制。
LEJ光纤耦合紫外UV光源的独特之处在于其集成了点火装置和稳定电源，可产生250-1000nm的宽谱紫外光，特别适合光掩模分析和微观结构检测。
在显微镜光源应用中，LEJ深紫外汞氙灯光源展现出无与伦比的优势。相比传统氙灯光源（色温约6000K），LEJ光纤耦合紫外UV光源通过精确控制汞蒸汽比例，在深紫外波段（200-300nm）产生更强的特征谱线，这对荧光标记和纳米级缺陷检测至关重要。LUXYR系统平台与LEJ光源的完美配合，使该系统成为半导体检测和生物显微领域的理想选择。
LEJ深紫外照明系统的核心技术在于其汞氙灯光源的特殊设计。不同于普通氙灯仅使用氙气，LEJ汞氙灯采用氙气和汞蒸汽的混合填充，通过高压放电激发产生连续紫外光谱这种设计使LEJ深紫外汞氙灯同时具备氙灯的稳定性（光谱能量分布几乎不变）。
和汞灯的特征紫外谱线优势。显微镜光源应用中，LEJ系统通过三点机械调节机构（灯管、反射镜、集光器）确保光路重复精度优于0.1μm。
LUXYR控制平台为LEJ深紫外汞氙灯光源提供了智能化管理界面。系统集成的安全电路可实时监测工作状态，当检测到灯箱lh-qx-100.60异常开启时立即切断电源。LEJ深紫外照明系统还具备独特的"无热漂移"特性，这得益于其精密温控设计和低热膨胀材料应用，确保长时间工作时光源输出稳定性优于99.5%。在作为显微镜光源使用时，这种稳定性对连续观测和图像比对尤为关键。
应用领域
LEJ深紫外汞氙灯光源在半导体工业中发挥着不可替代的作用。其深紫外汞氙灯产生的短波长光线（250-365nm）可有效分辨90nm以下的线宽缺陷，广泛应用于晶圆检测和光掩模分析。LEJ深紫外照明系统配合LUXYR自动化平台，可实现全自动的缺陷扫描和分类，大幅提升检测效率。与传统UV汞灯相比，LEJ深紫外汞氙灯光源在200-300nm波段的强度提高了3-5倍，这对先进制程节点的检测至关重要。
在生命科学领域，LEJ深紫外汞氙灯作为显微镜光源，为荧光显微和共聚焦显微提供高强度的激发光。LUXYR系统可精确调节光谱输出，匹配不同荧光标记物的最佳激发波长。LEJ深紫外汞氙灯光源的高稳定性确保了长时间观察时荧光信号的可靠性，避免了传统光源因输出波动导致的图像失真。深紫外汞氙灯在280nm附近的强发射谱线特别适合蛋白质和核酸的紫外荧光研究。
LEJ深紫外照明系统还广泛应用于材料分析和光学检测领域。其汞氙灯光源可产生从深紫外到近红外的宽谱输出，配合LUXYR系统的滤光片轮模块，可快速切换不同波段用于多光谱分析。作为显微镜光源，LEJ系统在聚合物老化研究、涂层分析和纳米材料表征等方面展现出卓越性能。深紫外汞氙灯的高能量短波紫外（250-300nm）还能用于表面清洁度和污染物检测。
