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MEMS可变形反射镜

Boston Micromachines公司开创了MEMS(微机电系统)可变形镜面技术,MEMS可变形反射镜用于先进的光学控制。这些微型精密变形镜使世界顶级研究人员能够在天文学、显微镜技术、激光控制和视网膜成像方面取得突破。在MEMS可变形反射镜开发和扩展到全高分辨率成像系统方面,Boston Micromachines公司致力于推动光子学应用领域的研发。

所属品牌:

负责人:孙工
联系电话:13692216712   电子邮箱:zmsun@welloptics.cn

产品介绍

MEMS(微机电系统)可变形镜面技术MEMS可变形反射镜


维尔克斯光电为用户提供来自Boston Micromachines Corporation(BMC)的微机电可变形反射镜和微机电分段变形镜,类型主要分为低致动器数DM、中执行器计数DM以及高执行器数MEMS可变形反射镜。

Multi-DM可变形镜能够实现高达 5.5 μm 的行程、2 kHz 的帧速率、亚纳米级步长且无滞后。以 X-Driver 的形式为 Multi-DM 系统提供高速电子升级。

    中执行器数DM系统是高性能波前校正器,适用于天文学、激光通信和远程成像等要求严苛的应用,提供三种类型:Kilo-DM492-DM 648-DM

Kilo-DM可变形镜是用于精确、高速、高分辨率波前控制的使能组件。多达 1020 个执行器控制在1纳米以下的精度且无滞后,该系统非常适合要求严苛的应用。

作为流行的Kilo-DM可变形镜的替代品,492-DM 648-DM可以以更低的成本使用并产生卓越的效果。492-DM648-DM系统分别将492648执行器的精度控制在1 nm以下且无滞后,是天文学和下一代成像应用的理想选择。

Boston Micromachines的MEMS可变形反射镜其中低制动器数MEMS反射镜是用于高级波前控制的经济且通用的像差调制解决方案,具有高达140个精确控制的元件和低致动器间耦合,Multi-DM系统是包括显微镜、天文学、视网膜成像和激光束整形应用在内的广泛应用的理想选择。这种DM可用于自适应光学或空间光调制器应用的连续和分段表面。

Boston Micromachines Corporation(BMC)是高执行器数MEMS变形镜技术的行业领导者,这些反射镜部署在世界各地著名的天文设施中,用以提高波前校正能力,其中4K-DM 安装在双子座行星成像仪器上2K-DM则包含在多个空间望远镜概念的设计中。

此外,2K-DM 被安装为斯巴鲁日冕仪极端自适应光学(SCExAO)仪器和麦哲伦望远镜 (MagAO-X) 的实验性日冕极端自适应光学系统中的启用组件。多年来,两者都一直在空中观测中持续运行。


MEMS可变形反射镜反射镜特点:

-大阵列产生高分辨率波前校正。

-先进的微结构允许对高空间频率表面的相邻执行器之间的影响最小

-优化设计可实现高速应用的快速波前整形



微机电分段变形镜,MEMS可变形反射镜规格:

DM型号

执行器数量

跨孔径执行器数量

物理行程(μm

波前行程(μm

孔径(mm

螺距(μm

机械响应

更新率:标准(kHz

更新率:高速(kHz

近似执行器耦合

492-S-1.0-SLM

492

24

1.0

2.0

9.60

400

80

60

n/a

0%

492-3.5-SLM

492

24

3.5

7.0

9.60

400

80

45

n/a

0%

Kilo-CS-1.0-SLM

952

34

1.0

2.0

13.60

400

80

60

n/a

0%

Kilo-C-3.5-SLM

952

34

3.5

7.0

13.60

400

80

45

n/a

0%

2K-1.5L-SLM

2040

50

1.5

3.0

20.00

400

20

30

n/a

0%

2K-3.5-SLM

2040

50

3.5

7.0

20.00

400

80

30

n/a

0%

请注意:填充系数>98%(SLM),表面形状:<30 nm

*自定义执行器可根据要求提供



微机电可变形反射镜, MEMS变形镜规格:

DM型号

执行器数量

跨孔径执行器数量

物理行程(μm)

波前行程(μm)

孔径(mm)

螺距(μm)

机械响应

更新率:标准(kHz)

更新率:高速(kHz)

近似执行器耦合

Multi-C-1.5L-DM

137

13

1.5

3.0

4.80

400

<75

2

100

15%

Multi-3.5-DM

140

12

3.5

7.0

4.40

400

<75

2

100

13%

Multi-3.5L-DM

140

12

3.5

7.0

4.95

450

<75

2

100

13%

Multi-5.5-DM

140

12

5.5

11.0

4.95

450

<100

2

100

22%

492-S-0.6-DM

492

24

0.6

1.2

6.90

300

<20

60

n/a

15%

492-S-1.0-DM

492

24

1.0

2.0

9.20

400

<75

60

n/a

13%

492-1.5-DM

492

24

1.5

3.0

6.90

300

<20

45

60

15%

492-3.5-DM

492

24

3.5

7.0

9.20

400

<75

45

60

13%

492-5.5-DM

492

24

5.5

11.0

10.35

450

<100

45

60

22%

648-5.5-DM

648

28

5.5

11.0

12.15

450

<100

45

60

22%

Kilo-CS-0.6-DM

952

34

0.6

1.2

9.90

300

<20

60

n/a

15%

Kilo-CS-1.0-DM

952

34

1.0

2.0

13.20

400

<75

60

n/a

13%

Kilo-C-1.5-DM

952

34

1.5

3.0

9.90

300

<20

45

60

15%

Kilo-C-3.5-DM

952

34

3.5

7.0

13.20

400

<75

45

60

13%

2K-1.5L-DM

2040

50

1.5

3.0

19.60

400

<40

30

n/a

15%

2K-3.5-DM

2040

50

3.5

7.0

19.60

400

<75

30

n/a

13%

3K-1.5-DM

3063

62

1.5

3.0

18.30

300

<20

16

n/a

15%

4K-3.5-DM

4092

64

3.5

7.0

25.20

400

<75

16

n/a

13%

请注意:填充系数>99%(DM),表面形状:<30 nm
*自定义执行器可根据要求提供


MEMS可变形反射镜可用的选项:

变形镜

镀层

窗口AR镀层(nm

驱动*

Multi

铝金防护银

400-1100

550-2500

650-1050

1050-1700

1550

Multi-Driver

X-Driver

492

648 **

Kilo

400-1100

550-2500

1550

S-Driver **

Kilo-Driver

Kilo-Low-Latency-Driver

2K

3K

4K

400-1100

550-2500

1550

+K Driver

* 亚纳米级平均步长

** S-Driver 不适用于 648 DM

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