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纳米压电Z轴晶圆载物台

电动晶圆台与真空 (HV) 兼容,是电子显微镜室真空台的理想选择。WP-Z-120A Wafer Stage可针对不同的环境和规格进行定制。高负载晶圆台还提供超高真空 (UHV) 和 UHV-RAD 抗辐射版本。OEM晶圆台更高负载的定制版本可用于高达14 kg的负载,并且提供用于平台调平和扫描的倾斜版本。

所属品牌: PRIOR

负责人:张育钦
联系电话:18927467725   电子邮箱:yqzhang@welloptics.cn

产品介绍

PRIOR纳米压电Z轴高负载晶圆台,12英寸大尺寸晶圆台


毫秒级响应时间和高带宽使WP-Z-120A晶圆定位系统非常适合需要高吞吐量的应用。电动晶圆台设计用于容纳 300毫米(12英寸晶圆)的晶圆,并提供卓越的性能,负载高达8公斤,适用于重型晶圆卡盘。

该平台使用电容式定位传感器提供纳米位移测量和闭环反馈。弯曲引导在120 μm闭环范围内提供无摩擦且可靠的运动,并通过Queensgate的数字闭环控制器实现快速响应和稳定时间。

PRIOR旗下Queensgate公司业务开发经理Alison Raby表示“我们很高兴向市场推出WP-Z-120A大尺寸晶圆台。我们希望设计一款能够承载高负载但实现市场领先的快速响应和稳定时间的纳米压电Z轴晶圆载物台,晶圆扫描仪的设计考虑了OEM客户,并且可以适应轻松升级到新的OEM晶圆台自定义版本。”

WP-Z-120A高负载晶圆台可针对不同的环境和规格进行定制。它与真空 (HV) 兼容,是电子显微镜室的理想选择。还提供超高真空(UHV)和UHV-RAD抗辐射版本。更高负载的真空台定制版本可用于高达14公斤的负载,并且提供用于平台调平和扫描的倾斜版本。可根据要求提供160 μm的扩展范围和200 mm晶圆的更小尺寸。


高负载压电晶圆Z轴平台技术规格:

纳米晶圆台参数

定值



单位

材质




抛光


非磁性镍



尺寸


375 L X 375 W x 30 H



平台尺寸


350 直径




最小

典型值

最大


闭环行程


140


μm

校准范围

120



μm

共振频率 0 kg


320


Hz

共振频率 5.2 kg


190


Hz

共振频率 8 kg


155


Hz

线性误差


0.1

0.3

%

动态(典型值)





测试负载

0

5.2

8

Kg

平台沉降 1 μm

9

13

14

ms

平台沉降 30 μm

16

22

24

ms

噪声

1.2

1.5

1.8

nm

重复性, 60 μm步进


5.5


nm

3 dB伺服环路带宽

65

45

40

Hz




 

高负载压电晶圆Z轴平台

高负载压电晶圆Z轴平台主要应用:

-晶圆或掩模检测应用

-电子显微镜SEM/TEM应用

-干涉测量和计量应用

-显微镜高精度载物台应用

-材料检验应用

-镜面定位应用


高负载压电晶圆Z轴平台定制解决方案:

-真空(HV)兼容版本,非常适合在电子显微镜的真空室中使用

-超高真空 (UHV)UHV-RAD抗辐射版本,具有低放气聚酰亚胺布线

-高负载OEM晶圆台定制版本,可使用高达14公斤

-用于平台调平和扫描的倾斜调制Z轴定制版本

-160 μm的扩展范围

-200 mm晶圆的装配/12英寸晶圆的装配

-可提供用于Prior Scientific载物台H112高精度载物台的转接板

 

高负载压电晶圆Z轴平台的NPC-D-6110压电控制器:

高负载压电晶圆Z轴平台可由NPC-D-6110压电控制器驱动控制,NPC-D-6110压电控制器具备20 μm的更新速率,该规格参数在市面上具备极大的优势,其超低噪声的控制模式在高伺服环路带宽或高负载使用下依旧可以保证高分辨率运行。带有加速/减速控制的运动控制算法可减少超调,可以提供更佳的步进稳定时间。该系统提供高达三个出厂设置,可选择的调谐预设使得控制器使用时,对于步进稳定和样品质量进行了优化处理。五个额外的自定义预设可用于自定义调整。

新的速度控制算法为对焦堆叠或对焦包围等应用提供了超平滑的波形。


高负载压电晶圆Z轴平台的操作界面

模拟命令输入和位置输出- 10 – + 10 V0 – 10 V。数字命令可通过USBRS232C或数字正交/步进和方向命令获得。可选的高速RS422C数字接口用于样品精确控制和位置反馈。

提供了一个DLL接口,便于与客户的软件集成。回放自定义编程波形,如光栅扫描或等速剖面的标准功能。可以在自定义点激活单独的数字触发输出,以控制外部设备,例如相机成像等应用需求。


高负载压电晶圆Z轴平台订购和配件信息:

订购型号

晶圆台描述

QGWP120A-D1

300 mm (12") high speed low profile wafer piezo stage 120 μm Z with NPC-D-6100 digital controller

QGWP120A-UHV-D1

300 mm (12”) high speed low profile wafer piezo stage 120μm Z high vacuum compatible with NPC-D-6100 digital controller

配件信息


QGWPADAPT1

H112 to WP120A adapter plate kit

QGWP30

150, 200 and 300 mm (6, 8 & 12”) wafer chuck

QGWP30V

150, 200 & 300 mm (6, 8 & 12”) vacuum hold wafer chuck





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