SCAN plus 200 X 200电动显微镜平台/位移台，带集成测量系统，行程范围：200 x 200 毫米，主轴间距：4 毫米主轴间距：1 mm
所属品牌： Marzhauser Wetzlar
负责人：孙泽明
联系电话：13692216712 电子邮箱：zmsun@welloptics.cn
显微镜晶圆平台SCAN plus 200 × 200 电动显微镜平台/位移台规格描述：
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描述 |
SCANplus 200 × 200 |
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订购型号 |
00-24-832-0000 (4 mm ball screw pitch) |
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行程 |
200 × 200 mm（max） |
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行程速度 |
max. 240 mm/s (with 4 mm ball screw pitch) |
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双向重复性 |
< 1 μm |
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准确性 |
± 1 μm |
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分辨率 |
0.05 μm（步进） |
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正交度 |
< 10 arcsec |
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电机 |
2相步进电机 |
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重量 |
~8.9 kg（不含样品架） |
显微镜晶圆平台适用显微镜型号：
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Leica |
Nikon |
Olympus |
Zeiss |
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Eclipse L200, L200A, L200D |
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MX50 |
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Optiphot 200 / 200D |
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MX50L |
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MX61 |
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MX61L |
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MX80 |
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