SCAN plus 300 X 300 显微镜电动载物台/位移台，带集成测量系统，行程范围：300 x 300 毫米，主轴间距：4 毫米
所属品牌： Marzhauser Wetzlar
负责人：戴士轩
联系电话：13691896712 电子邮箱：sxdai@welloptics.cn
晶圆平台SCAN plus 300 X 300 显微镜电动载物台/位移台规格描述：
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描述 |
SCANplus 300 × 300 |
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订购型号 |
00-24-126-0000 |
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行程 |
300 × 300 mm (12“ × 12“) |
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行程速度 |
max. 240 mm/s (with 4 mm ball screw pitch) |
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双向重复性 |
< 1 μm |
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准确性 |
± 1 μm |
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分辨率 |
0.05 μm（步进） |
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正交度 |
< 10 arcsec |
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电机 |
2相步进电机 |
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重量 |
~ 19.5 kg（不含样品架） |
晶圆平台适用显微镜型号：
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Leica |
Nikon |
Olympus |
Zeiss |
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MX50L |
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MX51L |
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MX61L |
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MX80 |
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